Jurnal Online - http://www.jurnal.lipi.go.id

PANTULAN-SEMPURNA-TERLEMAHKAN-INFRAMERAH (IR-ATR) PADA 6H-SIC YANG DIGOSOK DENGAN PARTIKEL INTAN DAN CR2O3

Hasanudin1, N. Kuroda2, Y. Iida2, T. Shigeta2 dan J. Watanabe2

1Fakultas Teknik, Universitas Tanjungpura, Pontianak 78124, Indonesia
2Department of Mechanical Engineering and Materials Science, Faculty of Engineering, Kumamoto University, Kumamoto 860-8555, Japan

Abstrak
Telah dilakukan pengukuran spektrum IR-ATR terhadap kristal tunggal (0001) 6H-SiC yang digosok secara dengan metode MCP dengan partikel Cr2O3 (sampel 1) dan metode CMP dengan partikel intan (sampel 2). Spektrum IR-ATR meperlihatkan sensitifitas fonon permukaan FK terhadap kekasaran permukaan yang diindikasikan pergeseran frekuensi fonon ini. Sampel 2 memperlihatkan pergeseran frekuensi fonon FK yang jauh lebih besar daripada sampel 1. Lebih jauh lagi, perilaku fonon LO dan FLO memperlihatkan bahwa pada sampel 2 terjadi perubahan susunan atom di bawah permukaan sehingga mengubah sifat $\textit{polytype}$ kristal. Hal ini tidak terjadi pada sampel 1. Semua ini menunjukkan bahwa kualitas permukaan sampel 1 lebih baik dari sampel 2, dan hasil ini cocok dengan hasil pengukuran langsung terhadap kekasaran permukaan kristal dengan menggunakan interferometer fase geser.

Publikasi : Jurnal Fisika HFI A4 (2004) 0216
Naskah lengkap : format PDF (366.991 bita)
Kontak : Hasanudin
Keterangan lain : 4 hal., bahasa Indonesia