Jurnal Online

lihat situs sponsor
 
Selasa, 21 November 2017  
 
halaman sebelumnya »  

Jurnal Fisika Himpunan Fisika Indonesia
http://situs.jurnal.lipi.go.id/jfhfi/   -   http://jf.hfi.fisika.net

FABRIKASI DAN KARAKTERISASI FILM TIPIS CUO YANG DITUMBUHKAN DI ATAS SUBTRAT MGO (100) DENGAN METODE METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (MOCVD)

Horasdia Saragih1, Sutikno2, Sugianto2, Pepen Arifin*, Moehamad Barmawi*

* Laboratorium Fisika Material Elektronik, Departemen Fisika, ITB, Bandung, Indonesia
1 Jurusan Fisika, Universitas Pattimura, Ambon, Indonesia
2 Jurusan Fisika, Universitas Negeri Semarang, Semarang, Indonesia

Abstrak
Telah dideposisi film tipis CuO di atas subtrat MgO(100) dengan menggunakan metode Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD). Sumber metalorganic tembaga (Cu) yang digunakan adalah bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)copper (II), 99% [Cu(TMHD)2] yang berupa serbuk. Bahan metalorganic ini dilarutkan ke dalam pelarut tetrahydrofuran (THF, C4H8O) 99,9+% dan dimasukkan ke dalam sebuah bubbler. Konsentrasi larutan adalah 0,2 mol/liter. Untuk menguapkan larutan, temperatur bubbler dinaikkan sampai 130oC. Gas Argon (Ar) dialirkan dengan laju 100 sccm ke dalam bubbler untuk membawa uap ke dalam ruang deposisi. Gas oksigen (O2) dialirkan dengan laju 100 sccm untuk membentuk stoikiomtri film. Temperatur subtrat yang digunakan saat penumbuhan divariasikan dari 500oC sampai 600oC. Dari hasil pengujian dengan energy-dispersive x-ray analyses (EDX) didapatkan bahwa perbandingan persentasi atom penyusun film (Cu:O) adalah 1:1. Ukuran butiran yang terdeposisi dan ketebalan film yang terbentuk masing-masing berada pada kisaran 0,294 mm sampai 0,686 mm dan 0,078mm sampai 1,09 mm. Hasil karakterisasi x-ray diffraction (XRD), terlihat bahwa orientasi bidang yang tumbuh adalah (111), (111), (113) dan (311). Sementara itu, lebar celah pita optik dari film yang terbentuk tersebar pada nilai 3,8 eV sampai 5,3 eV.

Publikasi : Jurnal Fisika HFI Suplemen Prosiding A5 (2002) 0596 » halaman Daftar Isi
» kirim ke teman
» versi cetak
» permintaan versi cetak
Naskah lengkap : lisensi tertutup dalam format PDF (permintaan versi cetak)
Kontak : penulis
Keterangan lain : 5 hal., bahasa Indonesia » diakses 20.477 kali

  Dikelola oleh PDII LIPI Hak Cipta © 2000-2017 LIPI