Jurnal Online

lihat situs sponsor
 
Rabu, 22 November 2017  
 
halaman sebelumnya »  

Jurnal Fisika Himpunan Fisika Indonesia
http://situs.jurnal.lipi.go.id/jfhfi/   -   http://jf.hfi.fisika.net

PENGARUH SUHU SUBSTRAT PADA PERTUMBUHAN STRUKTUR KRISTAL DAN RESISTANSI LAPISAN TIPIS NI73FE27

Moh. Toifur

Pusat Studi Fisika Terapan, Universitas Ahmad Dahlan, Jl. Kapas No. 9 Semaki Yogyakarta, Indonesia

Abstrak
Telah dilakukan penelitian mengenai pengaruh suhu substrat pada pertumbuhan kristal dan resistansi lapisan tipis . Deposisi dilakukan dengan mesin sputtering DC yang dilengkapi dengan pengatur tekanan vakum, tekanan gas sputtering, tegangan tinggi, medan magnet serta pengendali suhu. Sebagai gas sputtering digunakan argon teknis. Analisis struktur kristal dilakukan dengan XRD dan resistansi dengan probe empat titik. Dari spektrum XRD menunjukkan bahwa suhu substrat berpengaruh pada struktur kristal. Selain itu lapisan masih berbentuk polikristalin yang terdiri dari NiFe berstruktur fcc (kubik pemusatan sisi) dengan arah pertumbuhan (111) dan NiO berstruktur rhombohedral dengan arah pertumbuhan (012). Adanya unsur NiO yang bersifat antiferromagnetik (AFM) dapat mengurangi momen magnet total. Lapisan NiFe hasil deposisi pada substrat yang dipanasi pada suhu 100C memiliki struktur kristal paling bagus diantara sampel-sampel yang lain dengan jarak antar bidang sebesar 2,01 namun juga disertai keteraturan struktur NiO. Dari analisis pengukuran resistansi menggunakan probe 4 titik menunjukkan resistansi lapisan sangat tergantung pada keteraturan struktur NiO. Selain itu dari analisis ukuran butir menunjukkan resistansi lapisan dipengaruhi oleh ukuran butir NiFe maupun NiO. Semakin kecil ukuran butir kedua partikel semakin besar resistansinya dan sebaliknya.

Publikasi : Jurnal Fisika HFI Suplemen Prosiding A5 (2002) 0574 » halaman Daftar Isi
» kirim ke teman
» versi cetak
» permintaan versi cetak
Naskah lengkap : lisensi tertutup dalam format PDF (permintaan versi cetak)
Kontak : penulis
Keterangan lain : 5 hal., bahasa Indonesia » diakses 24.207 kali

  Dikelola oleh PDII LIPI Hak Cipta © 2000-2017 LIPI