Jurnal Online

lihat situs sponsor
 
Minggu, 19 November 2017  
 
halaman sebelumnya »  

Jurnal Fisika Himpunan Fisika Indonesia
http://situs.jurnal.lipi.go.id/jfhfi/   -   http://jf.hfi.fisika.net

PENGARUH DAYA RF TERHADAP SIFAT OPTIK DAN LISTRIK LAPISAN TIPIS A-SI:H YANG DITUMBUHAN DENGAN METODE BARU HOT WIRE CELL PECVD

A. Supu1, J.D. Malago2, I. Usman3, T. Simbolon4, Anawati5, T. Winata5 dan M. Barmawi5

1Program Studi Fisika, Jurusan PMIPA, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Kupang, Indonesia
2Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Negeri Makassar, Makassar, Indonesia
3Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Haluoleo, Kendari, Indonesia
4Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Sumatra Utara, Medan, Indonesia
5Laboratorium Fisika Material Elektronik, Jurusan Fisika, FMIPA, ITB, Bandung, Indonesia

Abstrak
Metode baru Hot Wire Cell PECVD telah berhasil dikembangkan untuk menumbuhkan lapisan tipis silikon amorf terhidrogenasi (a-Si:H). Lapisan tipis a-Si:H ditumbuhkan diatas gelas corning 7059 pada temperatur filamen 800oC. Gas silan (SiH4) 10 % dalam gas hidrogen (H2) digunakan sebagai sumber gas. Sifat optik dan listrik lapisan tipis a-Si:H dikarakterisasi untuk mengetahui pengaruh daya radio frekuensi (daya rf) terhadap laju deposisi, celah pita optik dan konduktivitasnya. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa laju deposisi meningkat secara monoton dari 0,53 /detik sampai 0,89 /detik dengan meningkatnya daya rf dari 20 watt sampai 60 watt. Celah pita optik menurun dari 1,78 eV sampai 1,66 eV seiring dengan meningkatnya daya rf dari 30 watt sampai 50 watt. Kandungan hidrogen terendah diperoleh pada daya rf 50 watt. Konduktivitas terang lapisan tipis a-Si:H yang ditumbuhkan pada daya rf 30 watt dua orde lebih tinggi dari lapisan yang ditumbuhkan pada daya rf 20 watt, dari 7,55 S/cm sampai 1,84 S/cm.

Publikasi : Jurnal Fisika HFI Suplemen Prosiding A5 (2002) 0588 » halaman Daftar Isi
» kirim ke teman
» versi cetak
» permintaan versi cetak
Naskah lengkap : lisensi tertutup dalam format PDF (permintaan versi cetak)
Kontak : penulis
Keterangan lain : 5 hal., bahasa Indonesia » diakses 22.918 kali

  Dikelola oleh PDII LIPI Hak Cipta © 2000-2017 LIPI